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著者名松山 悠夏, 鹿田 真一, 寺地 徳之.
タイトルホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜成長での転位発生
(Dislocations generation in homoepitaxial diamond film growth)
会議名先進パワー半導体分科会 第5回講演会
発表年2018
言語Japanese

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