ホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜成長での転位発生
(Dislocations generation in homoepitaxial diamond film growth)
先進パワー半導体分科会 第5回講演会. 2018.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-03-04 10:08:55 +0900更新時刻: 2019-03-04 10:08:55 +0900