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| 著者名 | 松山 悠夏, 鹿田 真一, 寺地 徳之. |
|---|---|
| タイトル | ホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜成長での転位発生 (Dislocations generation in homoepitaxial diamond film growth) |
| 会議名 | 先進パワー半導体分科会 第5回講演会 |
| 発表年 | 2018 |
| 言語 | Japanese |
| 著者名 | 松山 悠夏, 鹿田 真一, 寺地 徳之. |
|---|---|
| タイトル | ホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜成長での転位発生 (Dislocations generation in homoepitaxial diamond film growth) |
| 会議名 | 先進パワー半導体分科会 第5回講演会 |
| 発表年 | 2018 |
| 言語 | Japanese |