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著者名関口 隆史, 岩井 秀夫, 揚村 寿英, 木村 隆.
タイトル斜め研磨を用いたGaN表面近傍のカソードルミネッセンス観察
(Cathodoluminescence observation of subsurface region of GaN materials)
会議名第64回応用物理学会春季学術講演会
発表年2017
言語Japanese
外部での文献参照

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