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GaN-HEMTの表面準位の挙動の顕微分光を用いた定量的解明
(Quantative analysis of surface states in GaN-HEMT devices using scanning photoelectron microscopy)

大美賀圭一, 舘野泰範, 永村 直佳, 河内剛志, 八重樫誠司, 駒谷務, 今野隼, 高橋良暢, 小嗣真人, 堀場弘司, 尾嶋正治, 末光眞希, 吹留博一.
電子デバイス界面テクノロジー研究会 材料・プロセス・デバイス特性. January 19, 2018-January 20, 2018.

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    Created at: 2017-12-15 22:08:42 +0900Updated at: 2018-06-05 14:16:10 +0900

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