C添加による金属ゲート材料の結晶構造制御とアモルファス化
(Control of Crystal Structures of metal gate materials by C-incorporation )
2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会. 2007.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:18:30 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:00:37 +0900