Role of hetero interface of ionic/covalent oxides for Pt/high-k/SiO2/Si MOS capacitors on Vfb shift
(Pt/high-k/SiO2/Si MOSキャパシタにおけるイオン性/共有結合性酸化物のヘテロ界面がVfbシフトへ果たす役割)
218th ECS Meeting. 2010年10月10日-2010年10月15日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:51:52 +0900更新時刻: 2022-09-05 12:51:52 +0900