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形状記憶合金薄膜を用いた触覚提示用垂直駆動型アクチュエータ
(Vertical Drive Micro Actuator for Haptic Display Using Shape Memory Alloy Thin Film)
平成17年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会. 2005.
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Created at: 2017-01-08 04:19:40 +0900Updated at: 2017-07-10 19:19:38 +0900