±c GaN極性面のアルカリ溶液選択エッチングに関する理論計算
(Theoretical calculation of ±c GaN surface for understanding selective etching in alkali solution)
第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-04-10 17:34:51 +0900 更新時刻: 2023-04-10 17:34:51 +0900