HOME > 口頭発表 > 書誌詳細原子層堆積法における薄膜成長とデバイス応用(Thin film growth by atomic layer deposition and its device application)生田目 俊秀. 薄膜材料デバイス研究会 第21回研究集会. 2024年11月28日-2024年11月29日. 招待講演NIMS著者生田目 俊秀Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2024-12-24 03:19:34 +0900更新時刻: 2024-12-24 03:19:34 +0900