HOME > Presentation > Detail
Hf系High-kゲート絶縁膜中の酸素空孔、窒素の原子レベルの挙動
2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会. September 07, 2005-September 11, 2005. Invited
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-02-14 11:03:46 +0900 Updated at: 2024-03-05 11:40:45 +0900