HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Hf系High-kゲート絶縁膜中の酸素空孔、窒素の原子レベルの挙動梅澤 直人, 鳥居和功, 宮崎 誠一, 渡部 平司, 知京 豊裕. 2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会. 2005. 招待講演NIMS著者知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:03:46 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:40:45 +0900
