Probe-EBIC法によるSi(111)基板上BaSi2薄膜の接合・結晶粒評価
(BaSi2 thin film grown on Si(111) substrate studied by probe-EBIC technique)
日本顕微鏡学会 第69回学術講演会. 2013.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:56:14 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:29:13 +0900