HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Nitrogen diffusion in AlN thin films deposited by a MBE羽田 肇, 大垣 武, 荻野 剛士, 渡邉 賢, 坂口 勲, 大橋 直樹. STAC-4. 2010年06月21日-2010年06月23日.NIMS著者羽田 肇大垣 武坂口 勲大橋 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:13:24 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:50:49 +0900