Sr0.95La0.05TiO3導電性中間層の低抵抗化に向けた成膜条件の検討
(Investigation of Deposition Conditions for Lowering the Electric Resistance of the Conductive Sr0.95La0.05TiO3 Buffer Layer)
第73回応用物理学会春季学術講演会. 2026年03月15日-2026年03月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-05-29 03:06:52 +0900 更新時刻: 2026-05-29 03:06:52 +0900