コンビナトリアル手法と相図を用いたゲートスタック構造の熱的安定性解析
(Thermal stability of HfO2-based Gate stack structures predicted by phase diagrams)
第66回応用物理学会学術講演会. 2005.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:37:19 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:25:22 +0900