塩化ランタンとチオ尿素のガス硫化による各種基板上へのLa2S3薄膜の作製
(Fabrication of La2S3 thin film on various kind of substrates by gas sulfurization of lanthanum chloride and thiourea)
表面技術協会 第112回講演大会. 2005.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:53:55 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:29:16 +0900