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Rate-Equation Growth Model of Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy Towards Improvement of Controllability of InxGa1-xN Alloy Composition

IMURA, Masataka, HIROTO, Takanobu, MANO, Takaaki, 糸数 雄吏, 定 昌史.
第43回電子材料シンポジウム. 2024年10月02日-2024年10月04日.

NIMS著者

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    作成時刻: 2024-10-22 19:53:59 +0900更新時刻: 2024-10-22 19:53:59 +0900

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