Role of oxygen transfer for high-k/SiO2/Si stack structure on Vfb shift
(high-k/SiO2/Siスタック構造における酸素移動がVfbシフトへ及ぼす役割)
219th ECS Meeting. 2011年05月01日-2011年05月06日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:53:57 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:15 +0900