HOME > Presentation > Detailプラズマ照射を施したMBE成長ScN薄膜の電気特性(Electric properties of plasma irradiated ScN films grown by MBE method)大垣 武, 坂口 勲, 大橋 直樹. 日本セラミックス協会 2020年年会. 2020.NIMS author(s)OGAKI, TakeshiSAKAGUCHI, IsaoOHASHI, NaokiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2020-03-25 03:00:22 +0900Updated at: 2020-03-25 03:00:22 +0900