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ReRAM用AlOx薄膜のアモルファス・ナノ構造
(Nano-structural amorphous of AlOx thin film for Resistive Random Access Memory(ReRAM))

著者児子 精祐, 梅田 直樹, 北澤 英明, 加藤 誠一, 木戸 義勇.
会議名2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会
発表年2007
言語Japanese

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