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ReRAM用AlOx薄膜のアモルファス・ナノ構造
(Nano-structural amorphous of AlOx thin film for Resistive Random Access Memory(ReRAM))

児子 精祐, 梅田 直樹, 北澤 英明, 加藤 誠一, 木戸 義勇.
2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会. 2007年09月04日-2007年09月06日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-01-08 05:19:31 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:00:37 +0900

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