diffusion of si in the srti03 thin films from si(100) substrate and its influence to the srti03/si(100）interfacestructures inve
(コンビ手法によるシリコンのsto薄膜中の拡散と拡散の界面構造への影響の解明)
２００１年ＭＲＳ秋季学会. 2001年11月26日-2001年11月30日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 11:09:55 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:09:55 +0900