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HfSiOxゲート AlGaN/GaN HEMTsのDC特性とMOS界面評価
(Study of DC properties and MOS interface of HfSiOx AlGaN/GaN HEMTs)

越智亮太, 前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 塩﨑宏司, 橋詰 保.
電子デバイス研究会「化合物半導体ICおよび超高速・超高周波デバイス/マイクロ波一般 」. 2021-01-29.

NIMS著者


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    作成時刻: 2021-07-17 03:00:20 +0900更新時刻: 2021-07-17 03:00:20 +0900

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