HOME > Presentation > DetailALD成膜技術によるナノ薄膜作製と半導体プロセスへの利用(Nano-thin film fabrication by ALD technique and its application fo semiconductor)生田目 俊秀. 日本金属学会2014年度秋期講演大会. 2014. InvitedNIMS author(s)NABATAME, ToshihideFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-02-14 11:15:27 +0900Updated at: 2024-03-05 11:45:10 +0900