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反応性スパッタ法で作製したZnO薄膜の熱伝導率評価

徐 一斌, 後藤 真宏, 加藤 良三.
日本金属学会2011年秋季大会. 2011年11月07日-2011年11月09日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-01-08 04:16:14 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:10:32 +0900

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