Bimorph-Type Microactuator Using Ti-Ni Shape Memory Thin Film
(Ti-Ni形状記憶合金薄膜を用いたバイモルフ型マイクロアクチュエータ)
Int. Conf. on Shape Memory and Superelastic Technologies and Sha. 2001年09月02日-2001年09月06日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:08:43 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:08:43 +0900
