Impacts on dopant activation of extended defects and Mg agglomeration in Mg-ion-implanted GaN

狩野絵美, UZUHASHI, Jun, 片岡恵太, 成田哲生, Sierakowski Kacper, Bockowski Michal, 大築立旺, 小林功季, 長尾全寛, OHKUBO, Tadakatsu, HONO, Kazuhiro, 加地徹, 五十嵐信行.

IMC20 (The 20th International Microscopy Congress). 2023年09月10日-2023年09月15日.