励起原子、配向酸素分子が誘起する表面反応素過程の分析
(Analysis of Surface Reactions Induced by Excited Atom and Aligned O2 beam)
第82回応用物理学会秋季学術講演会. 2021年09月10日-2021年09月13日. 招待講演
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2021-09-16 03:00:23 +0900 更新時刻: 2024-03-05 12:21:42 +0900