Si-Ge-Sn-O四元系アモルファス薄膜における低熱伝導率の発現
(Low Thermal Conductivity in Si-Ge-Sn-O Quaternary Amorphous Thin Films)
第84回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2023年09月19日-2023年09月23日.
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作成時刻: 2023-12-22 09:27:51 +0900更新時刻: 2023-12-22 09:27:51 +0900