HOME > 口頭発表 > 書誌詳細半導体メモリ絶縁膜特性解明に対する 電子顕微鏡を中心とした分析的アプローチ 杉山 直之, 生田目 俊秀, 上杉 文彦, 内城貴則, 川崎直彦. 第67回応用物理学会春季学術講演会 . 2020.NIMS著者生田目 俊秀上杉 文彦Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2021-07-17 03:00:20 +0900更新時刻: 2021-07-17 03:00:20 +0900
