Improvement of GaN/dielectric interface properties using atomic layer deposition
The 2024 1st Asia-Pacific Atomic Layer Deposition (AP-ALD) Conference . 2024年10月17日-2024年10月20日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2024-11-13 03:15:59 +0900 更新時刻: 2024-11-13 03:15:59 +0900