MgとNの連続イオン注入GaNにおける拡張欠陥形成およびMg凝集の解析
(Analysis of extended defects and Mg clusters in Mg and N ion-implanted GaN)
第80回日本顕微鏡学会学術講演会. 2024年06月03日-2024年06月05日.
NIMS著者
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作成時刻: 2024-06-27 03:13:38 +0900 更新時刻: 2024-06-27 03:13:38 +0900