サファイアr面基板上へのScN薄膜のヘテロエピタキシャル成長
(Heteroepitaxial Growth of ScN Films Grown on R-sapphire Substrates)
第64回応用物理学会春季学術講演会. 2017.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-19 04:39:04 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:35:18 +0900