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Si拡散によるフェルミレベルピニングの抑制のためのDLC薄膜の特性評価
(Evaluation of DLC thin film for restraint of Fermi level pinning by Si diffusion)
2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会. 2008.
NIMS author(s)
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Created at: 2017-02-14 11:33:30 +0900Updated at: 2017-07-10 20:18:21 +0900