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TOF-SIMSを用いた高温環境下におけるSi-Al界面の観察
(Observation of Si/Al interface in a hot environment using TOF-SIMS)

著者渡邉 騎通, 間宮 広明, 阿部 冨士雄, 大久保雅隆, 北澤 英明.
会議名第76回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2015
言語Japanese

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