HOME > Presentation > Detailプラズマを用いない酸化ガリウムの微細加工方法大島 孝仁. 新技術説明会. 2024-06-18.NIMS author(s)OSHIMA, TakayoshiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2024-06-24 03:13:51 +0900 Updated at: 2024-06-24 03:13:51 +0900