Low Temperature Hybrid Bonding of Organic/Inorganic Substrates at Atmospheric Pressure
(大気圧低温接合で実現する異種材料複合基板)
45th International Symposium on Microelectronics. 2012年09月09日-2012年09月13日. 招待講演
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 13:42:29 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:44:08 +0900