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ポリマー膜を用いたシリコン表面の応力制御
(Stress Control on Silicon Surface using Polymer Films)

五十嵐 慎一, 板倉 明子, 戸田 雅也, 北島 正弘, L. Chu, A.N. Chifen, R. Forch, R. Berger.
第4回ナノテクノロジー総合シンポジウム. 2006年02月20日-2006年02月21日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-01-08 03:16:38 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:34:55 +0900

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