UHV-TEMを用いた集束電子線によるナノドットアレイの作製と評価
(Fabrication and Characterization of Nano-Dot Arrays with Focused Electron Beam using UHV-TEM)
2004年（平成16年）春季 第51回応用物理学関係連合講演会. 2004.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 03:59:55 +0900更新時刻: 2018-05-30 19:15:04 +0900