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MgとNの連続イオン注入GaNにおけるMg拡散抑制のメカニズム
(Mg diffusion in Mg and N ion-implanted GaN)

狩野絵美, 埋橋 淳, 小林功季, 石川晃輔, 澤部恭佑, 成田哲生, Kacper Sierakowski, Michal Bockowski, 大久保 忠勝, 加地徹, 五十嵐信行.
第71回応用物理学会春季学術講演会. 2024年03月22日-2024年03月25日.

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    作成時刻: 2024-03-28 09:53:40 +0900 更新時刻: 2024-03-28 09:53:40 +0900

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