イオン注入されたSiナノワイヤの再結晶化とドーパント不純物の再活性化
(Recrystallization and Reactivation of Dopant Atoms in Ion-Implanted Silicon Nanowires)
Nanowires2012. 2012. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:09:20 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:44:10 +0900