Impurity contamination and diffusion during the annealing in the implanted ZnO
(イオン注入した酸化亜鉛の熱処理による不純物汚染と拡散)
第27回エレクトロセラミックス研究討論会. 2007年10月18日-2007年10月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:00:02 +0900更新時刻: 2022-09-05 12:00:02 +0900