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MOCVD成長によるウエハスケールMoS2 FETの特性評価
(Device performance of wafer-scale MoS2 FET grown by MOCVD)

渥美 圭脩, 李 曙紅, 西村 知紀, 金橋 魁利, 佐久間 芳樹, 長汐 晃輔.
第71回応用物理学会春季学術講演会. 2024年03月22日-2024年03月25日.

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    作成時刻: 2024-04-16 03:13:23 +0900更新時刻: 2024-04-16 03:13:23 +0900

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