MOCVD成長によるウエハスケールMoS2 FETの特性評価
(Device performance of wafer-scale MoS2 FET grown by MOCVD)
第71回応用物理学会春季学術講演会. 2024年03月22日-2024年03月25日.
NIMS著者
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作成時刻: 2024-04-16 03:13:23 +0900 更新時刻: 2024-04-16 03:13:23 +0900