オフアクシス選択堆積による単層MoS2上HfO2堆積手法の確立
(Establishing HfO₂ deposition method on 1L-MoS₂ via off-axis selective deposition)
第73回応用物理学春季学術講演会. 2026年03月15日-2026年03月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-06-19 03:06:51 +0900 更新時刻: 2026-06-19 03:06:51 +0900