Investigation on Anti-reflection Property of Nitrogen Doped Diamond-like Carbon(DLC) Films Produced by RF Magnetron Sputtering
(無反射コーティングとしてのDLC膜)
International Symposium on Nanocarbons 2001, Nagano. 2001年11月14日-2001年11月16日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:09:47 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:09:47 +0900