Selective Growth of Silicon Carbide Thin Films and Nanowires via Nanoslit Gas-Flow Control
The 73rd JSAP Spring Meeting 2026（2026年第73回応用物理学会春季学術講演会）. 2026年03月15日-2026年03月18日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2026-06-12 03:08:03 +0900 更新時刻: 2026-06-12 03:08:03 +0900