HOME > 口頭発表 > 書誌詳細スパッタ粒子の入射角度に着目した酸化亜鉛薄膜成長とその評価(Evaluation of zinc oxide thin film growth with respect to the incident angle of sputtered species)保坂 拓己, Herve Montigaud, 山形 栄人, 大澤 健男, Sergey Grachev, 石垣 隆正, 大橋 直樹. 第38 回エレクトロセラミックス研究討論会. 2018.NIMS著者大澤 健男大橋 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2019-03-04 10:08:59 +0900更新時刻: 2019-03-04 10:08:59 +0900