スパッタ粒子の入射角度に着目した酸化亜鉛薄膜成長とその評価
(Evaluation of zinc oxide thin film growth with respect to the incident angle of sputtered species)
第38 回エレクトロセラミックス研究討論会. 2018年11月15日-2018年11月16日.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-03-04 10:08:59 +0900 更新時刻: 2019-03-04 10:08:59 +0900