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スパッタ粒子の入射角度に着目した酸化亜鉛薄膜成長とその評価
(Evaluation of zinc oxide thin film growth with respect to the incident angle of sputtered species)
第38 回エレクトロセラミックス研究討論会. November 15, 2018-November 16, 2018.
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Created at: 2019-03-04 10:08:59 +0900Updated at: 2019-03-04 10:08:59 +0900