Study of gate insulator for GaN power device using atomic layer deposition
MNC 2022, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference. 2022年11月08日-2022年11月11日. 招待講演
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-12-02 03:39:49 +0900更新時刻: 2024-03-05 12:22:03 +0900