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MgとWを同時添加したAlN薄膜の作製

平田研二, 豊福 朋也, 山田 浩志, アンガライニ スリアユ, 新津 甲大, 上原 雅人, 秋山 守人.
第70回応用物理学会春期学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.

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    作成時刻: 2023-07-31 03:27:54 +0900更新時刻: 2023-07-31 03:27:54 +0900

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