VUV-assisted hybrid bonding of organic/inorganic substrate at atmospheric pressure
(真空紫外光照射と蒸気暴露の補佐による架橋層形成を利用した完全大気圧低温異種材料接合)
ICEP 2013. 2013年04月10日-2013年04月12日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 14:08:50 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:44:29 +0900