Influence of Oxygen Transfer in Hf-based High-k Dielectrics on Flatband Voltage Shift
(Hfからなるhigh-k誘電体で酸素移動がフラットバンド電圧シフトへ及ぼす影響)
7th International Conference on Si Epitaxy and Heterostructures. 2011年08月28日-2011年09月01日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 13:18:28 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:31 +0900