HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置2006-07-20. 特開2006190578号 (Google Patents) , 特許5077863号NIMS著者小泉 聡作成時刻 :2023-07-22 21:45:04 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:04 +0900
